300576
電路板油墨 | 光刻膠 | 特種油墨 |
1.特別說明:
具體型號(hào)說明書及相關(guān)檢測報(bào)告請(qǐng)前往下載中心下載。
2.應(yīng)用領(lǐng)域:
集成電路領(lǐng)域的具體應(yīng)用包括:集成電路芯片制作(涉及金屬層、鈍化層、離子注入層的光刻);集成電路先進(jìn)封裝等。
3. 技術(shù)參數(shù):
集成電路用光刻膠主要技術(shù)參數(shù):
集成電路用光刻膠系列主要包括: RD-4000、RD-6000等系列,不同系列光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)如下:
序號(hào) |
產(chǎn)品序列 |
主要參數(shù) |
1 |
RD-4000系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<50;膜厚:1.0~4.5um;分辨率:0.4um(i-line曝光)
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2 |
RD-6000系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<100;膜厚:3.0~15um;分辨率:0.65um(i-line曝光)
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1.特別說明:
具體型號(hào)說明書及相關(guān)檢測報(bào)告請(qǐng)前往下載中心下載。
2.應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的具體應(yīng)用包括:圖案化藍(lán)寶石襯底(PSS)制作;LED芯片制作等。
3. 技術(shù)參數(shù):
半導(dǎo)體照明用光刻膠主要技術(shù)參數(shù):
半導(dǎo)體照明用光刻膠系列主要包括:RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL700等系列,不同系列光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)如下:
序號(hào) |
產(chǎn)品序列 |
主要參數(shù) |
1 |
RD-2000系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<300;膜厚:1.0~3.5um;分辨率:0.8um(g-line)
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2 |
RD-4000系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<50;膜厚:1.0~4.5um;分辨率:0.4um(i-line曝光)
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3 |
RD-6000系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<100;膜厚:3.0~15um;分辨率:0.65um(i-line曝光)
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4 |
RD-NL700系列 |
水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個(gè)/ml):<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<500;膜厚:1.8~4.5um;倒梯形角度:45~80°;分辨率:1um(g+h+i曝光)
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